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高精度影像测量仪测量过程中会有误差吗?
发布日期:2020-11-16 浏览次数:504
高精度影像测量仪
是近十年来发展快速的几何光学测量仪器,它一般由机械、照明、测长、图像采集、计算机和测量软件等六部分组成。光学原理与普通投影仪很类似,区别在于被测件的轮廓影像被CCD传感器接收并由计算机进行图像采集和处理。它能检测各种形状复杂工件的轮廓和表面形状尺寸、角度及位置,特别是精密零部件的微观检测与质量控制,适用于产品开发、逆向工程、品质检测等领域。
在高精度影像测量仪上的测量均是单轴或二维平面坐标的测量,测量时先对焦,后对准,再读数(计数),后计算处理。读数来自于标尺即光栅系统,对焦对准依靠显微镜光学系统,还有一个直接影响测量效果和精度的照明光源,因为,基于影像方法测量的仪器,如果被测件不能被有效正确的照明,则测量的结果显然要偏离其真实尺寸。
除上述因素外,环境条件也是制约测量精度不可忽视的因素。基于上述分析,可以归纳出
高精度影像测量仪
误差来源于以下几个方面:
1、光栅计数尺的误差;
2、工作台移动时存在的直线度、角摆带来的误差;
3、工作台两测量轴垂直度带了的误差;
4、显微镜光轴与工作台面不垂直带了的误差;
5、测量室温度带来的误差;
6、光源照明条件的变化带来的对焦和对准误差。
在这几种因素中,前四项误差,是硬件误差,在仪器制造过程中已经形成并固定下来。一般无法改变;温度影响带来的误差,通过控制测量室的温度和等温过程来减小其影响。后一项则常被忽视,而在实际测量中,当光源照明条件改变时,直接影响被测工件的照明效果和影像质量,主要是因为高精度影像测量仪的图像是通过CCD接收,尽管CCD具有自动调节增益的功能,但当亮度过大时即失去调节功能,导致被测工件影像在缩小,当亮度过低时,工件影像反而变大。
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