半导体测量工具显微镜2010是武汉易测仪器公司推广出的Z轴电动手脉金相测量显微镜,使用专业订制的高精准细分脉冲金相测量电机,通过设置多种脉冲细分量和机构上的精准调校,可以实现快中慢三档调速来控制Z轴光学镜头上下移动;
更新时间:2023-11-08
产品型号:DNT2010
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● Z轴通过电动手脉进行精准控制(对焦精度可达0.0005mm)
● 快速释放装置便于测量工件大或测量工件数量多的快速移动工作台
● 高位目镜观察
● 千兆网口CCD图像成像(HKVISION-300万像素)
半导体测量工具显微镜2010技术参数
3.1主体规格
◆X坐标行程: 300(mm)
◆Y坐标行程: 200(mm)
◆Z坐标行程: 150(mm)
◆X、Y坐标测量示值误差≤(3+L/150)µm ,L为被测长度(单位:mm)
◆X、Y、Z数显分辨率:0.001mm
◆轮廓光源:绿色LED平行光源,无极亮度可調
◆上光源:白色LED环形可调光源
3.2目视系统
◆双目视镜筒+标准的TV摄像机端口
◆物镜:1.0-6.5X可连续变倍物鏡
◆目镜放大倍数:10X,单双目同,可选配20X
◆总放大倍数: 10X-65X(包括畸变在内的)
◆物镜放大倍数误差:放大率误差范围在0.08%以内
3.3影像系统
◆标配CCD相机1X镜筒
◆CCD:千兆网口高清晰摄像头(HKVISION)
◆综合影像放大倍数:45X-285X
半导体测量工具显微镜2010软件功能
l 配备专业视觉影像测量软件,带十字线捕捉闪烁功能,可测量二维平面尺寸(角度、直径、半径、点到点的距离、点到线的距离、线到线距离、线到圆的距离、圆到圆的距离等等);
l 图形自动捕捉:开启自动捕捉功能后,测量点、线、圆及圆弧,可自动捕捉到最清晰的地方;
l 视觉拍照功能:可通过软件抓拍实时产品图片,然后保存到电脑里,并可通过软件调出图片进行查看或处理;
l 标注文字:可在实时影像中标注文字说明;
l 公英制转换:测量值可在公制和英制之间切换;
l X、Y清零:可用画面十字线设置任意点为相对原点,将X、Y坐标清零;
l 测量数据输出:可将测量数据或图形导入WORD或EXCEL做报表;
l “浏览"窗口: 可观察工件的全图形并具有类似AutoCAD的缩放功能;
l 辅助功能:可把在软件中绘制出的图形进行移动、旋转、复制、删除,并可作任意线段的平行线、垂直线;
l 自动两点线:在单一画面下可自动捕捉工件的边缘,无须以人工取线,减少人眼误差,提高测量精度;
l 自动三点圆:在单一画面下可自动捕捉工件的圆半径、直径,并绘出图形,无须以人工取圆,减少人眼误差,提高测量精度;
l 自动多点线:自动捕捉工件边缘,然后根据工件边缘拟合出图形,从而减少两点取线及人眼的误差;
l 自动多点圆:自动捕捉工件边缘,然后拟合出工件的孔径,并绘出图形,从而减少三点取圆及人眼的误差;
l 自动圆:在单一画面下用鼠标框中图形,可快速自动捕捉出圆.;
l 设定工件坐标:可以根据客户本身的需要在影像中的实际工件上自行设定工件坐标,有两点确定X轴、两点确定Y轴或三点确定坐标系等多种设定方法;
l 具有坐标平移、坐标旋转及坐标分中等功能:
l 坐标标注:可标注工件中任意点的坐标值;
l Pitch标注:可标注任意点到一条直线的垂直距离,可标注任意两线的垂直距离