白光干涉仪测量粗糙度采用光学干涉技术、精密Z向扫描模块和优异的3D重建算法组成测量系统，保证测量精度高；产品的隔振系统，能够有效隔离频率2Hz以上绝大部分振动，消除地面振动噪声和空气中声波振动噪声，保障仪器在大部分的生产车间环境中能稳定使用；
更新时间：2022-12-16
产品型号：W1PRO
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白光干涉仪测量粗糙度可广泛应用于半导体制造及封装工艺检测、3C电子玻璃屏及其精密配件、光学加工、微纳材料及制造、汽车零部件、MEMS器件等超精密加工行业及科研院所等领域中。可测各类从超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物体表面，从纳米到微米级别工件的粗糙度、平整度、微观几何轮廓、曲率等，提供依据ISO/ASME/EUR/GBT四大国内外标准共计300余种2D、3D参数作为评价标准。
白光干涉仪测量粗糙度标准配置
1）SuperView W2主机
2）影像系统：1024×1024；
3）光学Zoom：1×；
4）XY位移载物台：自动位移台；
5）物镜转盘：3孔手动
5）品牌计算机；
6）校准模块；
7）操纵手柄；
8） 3D表面轮廓仪软件一套；
9）电气控制柜；
10）仪器配件箱；
11）便携加压充气装置一套；
12）产品使用说明书；
13）产品合格证、保修卡；
可选配置：
1） 干涉物镜：2.5×、5×、10×、20×、50×、100×
2） 自动光学变倍目镜： 0.5×、1×、2×
3） 真空吸附台(半导体晶圆片专用)：6寸、8寸、12寸
4） 自动测量拼接测量功能模块（须硬件支持）
5） 物镜转盘：5孔电动
产品售后技术服务：
1、 设备质保期
1）验收合格双方签定《产品验收报告》后12个月内；
2）在质保期内发生的故障，其故障部分质保期自修复之日起顺延。
2、 售后服务内容
1）质保期内：实行“三包"，用户所购设备各部件发生非人为故障，我司免费更换同种品牌不低于原价位、规格、型号的部件。
2）质保期后：我公司提供持续的优惠服务和技术支持，设备出现故障需要修理时，所换零件按成本价收取。软件随国家规程变更免费升级，硬件优惠升级。
3）排故响应时间：我司在接到报障信息后，2小时内回应，我司通过电话、邮件的方式指导买方排除故障；若故障仍不能排除，将在72小时内上门调试维修排故或用户将仪器发回本公司维修。
产品应用范围
