三维表面形貌测量仪

三维表面形貌测量仪特点

1、自动光学变倍目镜

集合了0.5×、1×和2×的多个光学倍率的可自动切换的光学变倍目镜，可与物镜组搭配使仪器具备从1.25×~200×的光学放大倍率，明察秋毫的测量能力体贴入“微"。

2、 一体化操作的测量分析软件

测量与分析同界面操作，无须切换，测量数据自动统计，实现了快速批量测量的功能；

可视化窗口，便于用户实时观察扫描过程；

结合自定义分析模板的自动化测量功能，可自动完成多区域的测量与分析过程；

几何分析、粗糙度分析、结构分析、频率分析、功能分析五大功能模块齐全；

一键分析、多文件分析，自由组合分析项保存为分析模板，批量样品一键分析，并提供数据分析与统计图表功能；

可测依据ISO/ASME/EUR/GBT等标准的多达300余种2D、3D参数。

3、 精密操纵手柄

集成X、Y、Z三个方向位移调整功能的操纵手柄，可快速完成载物台平移、Z向聚焦、找条纹等测量前工作。

4、 双通道气浮隔振系统

既可以接入客户现场的稳定气源也可以采用便携加压装置直接加压充气的双通道气浮隔振系统，在无外接气源的条件下也可稳定工作。

三维表面形貌测量仪技术参数

产品应用范围

可选配置：

1） 干涉物镜：2.5×、5×、10×、20×、50×、100×

2） 自动光学变倍目镜： 0.5×、1×、2×

3） 真空吸附台(半导体晶圆片专用)：6寸、8寸、12寸

4） 自动测量拼接测量功能模块（须硬件支持）

5） 物镜转盘：5孔电动